-
Хагас дамжуулагч датчикийн тоног төхөөрөмжийн керамик сэлбэг хэрэгсэл
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Керамик хавтан хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж зөөгч
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн керамик сэлбэг хэрэгсэл
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Өндөр температурын камер битүүмжлэх зориулалттай өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик битүүмжлэх цагираг
St.Cera-ийн керамик битүүмжлэх цагираг нь эластомерууд задалдаг онцгой орчинд полимер О-цагирагны оронд ашиглагдахаар бүтээгдсэн. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэсэн энэхүү хатуу битүүмжлэх цагиргийг 800°C хүртэлх температурт болон түрэмгий плазм эсвэл химийн орчинд найдвартай вакуум эсвэл хийн хамгаалалтыг хангахын тулд статик битүүмжлэх хэрэглээнд ашигладаг. Энэ материал нь хийн ялгаралтгүй, өндөр шахалтын бат бэх (суурь гулзайлтын бат бэх 361 МПа), химийн идэвхгүй байдал (HF-ээс бусад галоген, хүчил, шүлтэд тэсвэртэй) зэрэг давуу талуудтай. Нарийвчлалтай битүүмжлэх гадаргуу (хавтгай ≤5 μм, гадаргуугийн барзгаржилт Ra ≤0.2 μм) нь металл эсвэл керамик эд ангиудтай нэвчихээс хамгаалсан холбоо барих боломжийг олгодог.
-
Плазмын сийлбэр болон зүрх судасны системийн өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны камерын фокусын цагираг
St.Cera-ийн камерын фокусын цагираг нь плазмын сийлбэр, CVD болон PVD хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг чухал процессын хэрэгслийн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃)-ээр үйлдвэрлэсэн цагираг нь плазмыг хязгаарлаж, ионы өнцгийн тархалтыг оновчтой болгож, улмаар сийлбэрийн гадаргуу дээрх жигд байдлыг сайжруулдаг. Энэхүү материал нь онцгой плазмын эсэргүүцэл, өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангаж, түрэмгий фтор эсвэл хлор дээр суурилсан плазмын орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг. Нарийвчлалтай газардуулгын ID/OD болон тэгш байдал (≤10 μm) нь сийлбэрийн ирмэгийг нарийвчлалтай байрлуулах боломжийг олгодог бөгөөд ирмэгийн согог болон бөөмсийн үүсэлтийг бууруулдаг.
-
CVD / PVD процессын камерт зориулсан өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик цагираг
St.Cera-ийн керамик цагираг нь CVD (Химийн уурын тунадас) болон PVD (Физик уурын тунадас) процессын камерт ашиглахад зориулагдсан. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэсэн энэхүү цагираг нь плазмыг хязгаарлаж, камерын ханыг элэгдэлээс хамгаалах камерын доторлогоо, фокусын цагираг эсвэл процессын хэрэгслийн бүрэлдэхүүн хэсэг болж үйлчилдэг. Энэхүү материал нь маш сайн плазмын эсэргүүцэл, өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангаж, фтор дээр суурилсан түрэмгий плазмын орчинд удаан эдэлгээтэй ажиллах боломжийг олгодог. Нарийн хэмжээст хүлцэл (ID/OD дээр ±0.05 мм) болон хавтгай байдал (≤10 μm) нь вафлийн ирмэгийг тогтвортой байрлуулах боломжийг олгож, тунадасны жигд байдлыг сайжруулж, бөөмсийн үүсэлтийг бууруулдаг.
-
Бернулли керамик төгсгөлийн эффектор — Нимгэн ба хэврэг вафлинд зориулсан контактгүй вафли боловсруулах
St.Cera-ийн Бернулли керамик төгсгөлийн эффектор нь физик хүрэлцэхгүйгээр вафлитай харьцахдаа аэродинамик өргөлтийг ашигладаг. Өндөр цэвэршилттэй 99.8% хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) эсвэл цахиурын карбид (SiC)-ээр үйлдвэрлэсэн бөгөөд энэ нь төгсгөлийн эффектор болон вафли хооронд нимгэн агаарын хальс үүсгэхийн тулд даралттай хий ялгаруулдаг нарийн боловсруулсан цорготой. Энэхүү хүрэлцэхгүй зарчим нь ар талын бохирдол, ирмэгийн хагарал, гадаргуугийн гэмтлийг арилгадаг тул нимгэн (≤100 μм), хэврэг эсвэл муруй вафлитай харьцуулахад тохиромжтой. Керамик суурь нь өндөр гулзайлтын бат бэх (Al₂O₃-ийн хувьд 361 МПа; SiC-ийн хувьд 550–600 МПа хүртэл), бага масстай, маш сайн хэмжээст тогтвортой байдлыг хангаж, өндөр хурдтай вафли дамжуулах роботуудад давтагдах боломжтой байрлалыг баталгаажуулдаг.
-
Хагас дамжуулагч болон үйлдвэрлэлийн зориулалттай өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик эд ангиуд
St.Cera нь хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн нарийн боловсруулсан хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃) керамик эд анги үйлдвэрлэдэг. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл ашиглан эдгээр эд ангиуд нь маш сайн гулзайлтын бат бэх (361 МПа), өндөр хатуулаг (16 ГПа), гайхалтай диэлектрик бат бэх (15 × 10⁶ V/m)-ийг хангадаг. Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж, элэгдэлд тэсвэртэй угсралт, цахилгаан тусгаарлагч, өндөр температурт зориулсан уг материал нь тэгтэй ойролцоо ус шингээлт (0%) болон 7.2 × 10⁻⁶/℃ дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй тул хэт хүнд нөхцөлд хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг.
-
Муруй вафер боловсруулах зориулалттай сүвэрхэг керамик вакуум чак
St.Cera-ийн сүвэрхэг керамик патрон нь өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны ислээр хийгдсэн бөгөөд 30-45% жигд нээлттэй нүх сүвтэй, 10-100 μм нүх сүвний хэмжээтэй. Уламжлалт ховилтой патроноос ялгаатай нь сүвэрхэг гадаргуу нь ваарны ар талын бүхэлд нь тархсан вакуум үүсгэж, муруйсан, нимгэн эсвэл гажсан ваферуудыг ирмэг нь салгагдаж, хугарахгүй үр дүнтэй барьдаг. Зөөлөн вакуум (хязгаарлагчаар тохируулж болно) нь ар талын тэмдэглэгээ үүсэхээс сэргийлдэг.
-
Нимгэн вафлитай харьцах зориулалттай хөнгөн цагааны исэл дээр суурилсан сүвэрхэг керамик вакуум чак
St.Cera-ийн хөнгөн цагаан исэл дээр суурилсан сүвэрхэг патроныг 99.6% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оор үйлдвэрлэдэг бөгөөд нээлттэй нүх сүвийг 30-45%, нүх сүвний хэмжээ нь 10-50 μм хооронд хэлбэлздэг. Ховилтой патроноос ялгаатай нь сүвэрхэг гадаргуу нь ваферийн ар талын бүх хэсэгт тархсан вакуум үүсгэж, ирмэгийн тэмдэглэгээг арилгаж, хэт нимгэн (≤100 μм) эсвэл муруйсан ваферийг зөөлөн барих боломжийг олгодог. Энэхүү материал нь ≥250 МПа гулзайлтын бат бэх, агаарт 400°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг.
-
CVD/PVD шүршүүрийн толгойд зориулсан хөнгөн цагааны хийн хуваарилах хавтан
St.Cera-ийн хийн хуваарилах хавтан (шүршүүрийн толгой) нь өндөр цэвэршилттэй 99.8% хөнгөн цагааны исэл агуулсан керамикаар нарийн боловсруулсан. Энэ нь CVD, PVD, эсвэл ALD процессын үед вафлийн гадаргуу дээгүүр жигд хийн урсгалыг хангадаг олон тооны бичил нүхнүүдтэй (диаметр нь 0.3-1.5 мм). Хавтангийн өндөр диэлектрик бат бэх (>15×10⁶ V/m) болон плазмын эсэргүүцэл нь хагас дамжуулагч нимгэн хальсан тунадасжуулалтад зайлшгүй шаардлагатай болгодог.
-
Хагас дамжуулагч процессын бэхэлгээний керамик тулгуур зүү
St.Cera-ийн керамик тулгуурын зүү (өргөх зүү эсвэл тулгуурын зүү гэгддэг)-ийг хагас дамжуулагч процессын камерт харьцах, халаах эсвэл хөргөх үед вафли эсвэл субстратыг өргөхөд ашигладаг. 99.8% хөнгөн цагааны исэл эсвэл цахиурын нитридээс бүрдсэн эдгээр зүү нь өндөр шахалтын бат бэх, дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцлийг хангадаг. Хагас бөмбөрцөг хэлбэртэй эсвэл хавтгай үзүүртэй загвар нь вафли зурагдахаас сэргийлдэг.
