-
Физик ууршуулах системд зориулсан хөнгөн цагааны исэл PVD тусгаарлагч цагираг
St.Cera-ийн PVD тусгаарлагч цагираг нь физик ууршилтын (PVD) системд ашиглах зориулалттай 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэгддэг. Цагираг нь камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хооронд цахилгаан тусгаарлалтыг хангаж, нуман үүсэхээс сэргийлж, плазмын тогтвортой ажиллагааг хангадаг. Гол шинж чанаруудад өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), хувийн эсэргүүцэл >10¹⁴ Ω·mm²/m, 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал орно. Бидний нарийн боловсруулалтын чадвар нь гадна диаметрийг 600 мм хүртэл, дотор диаметрийг 0.2 мм хүртэл бууруулж, 0.003 мм тэгш, гадаргуугийн өнгөлгөөг Ra0.1 болгодог. Цагирагны тэг сүвэрхэг чанар болон химийн идэвхгүй байдал нь түрэмгий цацалтын орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг.
-
Цахилгаан бууны ууршуулах системд зориулсан хөнгөн цагаан керамик эд ангиуд
St.Cera нь электрон цацраг (E-буу) ууршуулах системд тусгайлан зориулсан өндөр цэвэршилттэй 99.8% хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик эд ангиудыг үйлдвэрлэдэг. Эдгээр эд ангиудад тигелийн доторлогоо, цацрагийн хазайлтын бамбай, тусгаарлагч, бэхэлгээний хэрэгсэл багтдаг. Энэхүү материал нь өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал, ууршсан материалаас үүсэх дулааны цочрол болон химийн дайралтад маш сайн тэсвэртэй. Бидний нарийвчлалтай боловсруулах чадвар нь хамгийн бага хэмжээ нь 0.2 мм, тэгш байдал 0.003 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra0.1 бүхий нарийн төвөгтэй геометрийг бий болгодог. Эд анги бүрийг хэмжээсийн нарийвчлалын хувьд 100% CMM шалгадаг.
-
ST.CERA 99.5% хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик эд ангиудыг захиалгаар хийсэн
Керамик бүтцийн эд анги нь янз бүрийн нарийн төвөгтэй хэлбэрийн керамик эд ангиудын ерөнхий нэр томъёо юм. Өндөр цэвэршилттэй керамик нунтагаар хийгдсэн керамик эд ангиудыг хуурай шахалт эсвэл хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж аваад өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулдаг. Энэ нь өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, үрэлтэд тэсвэртэй, дулаалга зэрэг шинж чанаруудтай тул хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж, оптик холбоо, лазер, эмнэлгийн тоног төхөөрөмж, газрын тос, металлурги, электроникийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг.
-
ST.CERA захиалгаар хийсэн 99.5% хөнгөн цагааны исэлтэй керамик ачигчийн гар
Керамик төгсгөлийн эффектор / бариул гарыг вафли харьцах робот эсвэл "төгсгөлийн эффекторууд" дээр суурилуулсан бөгөөд цахиурын вафлиг кассет эсвэл боловсруулах камер руу оруулах эсвэл гаргахад ашигладаг.
Керамик ашиглахын давуу талууд нь өндөр гулзайлтын бат бэх, өндөр температурт тэсвэртэй байдлаас шалтгаалан хазайлтыг багасгах, металлын бохирдол болон хэсгүүдийг арилгах явдал юм. -
ST.CERA захиалгаар хийсэн 99.5% хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик эд ангиуд
Өндөр цэвэршилттэй керамик нунтагаар хийгдсэн бөгөөд керамик эд ангиудыг хуурай шахалт эсвэл хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж аваад өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулдаг. Энэ нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж, оптик холбоо, лазер, эмнэлгийн тоног төхөөрөмж, газрын тос, металлурги, электроникийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, үрэлтэд тэсвэртэй, дулаалгатай зэрэг шинж чанартай байдаг.
-
Нарийвчлалтай керамик хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик ваферийн бариултай гар хагас дамжуулагч керамик
Өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтээс хамгаалагдсан, үрэлтэд тэсвэртэй, дулаалгатай керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийд тэсвэртэй олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Тусгаарлагчтай хөнгөн цагаан керамик гар хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Вафлиг зөөвөрлөх эсвэл төгсгөлийн эффектор / баригч гартай харьцах үед налуу эсвэл өнцөгтэй ирмэг болон арын гадаргуугаас үүсч болох бөөмс үүсэхээс сэргийлнэ.
Гарын авлагын хувьд вафлийг гэмтээхгүй зөөлөн материалыг ашигласан.
ST.CERA-ийн наалдамхай бодис ашигладаггүй вакуум сувгийн технологиор сийрэгжүүлэх боломжтой.
Робот дээр суурилуулсан төгсгөлийн эффектор / бариул гарны суурийн урт ба өргөнийг өөрчлөх, бэхэлгээний нүх гаргах боломжтой.
Мэдрэгч, эрэг болон хаалт суурилуулах сонголттой.
Агаар мандалд ашиглахаар зохион бүтээгдсэн
-
Нарийвчлалтай керамик хөнгөн цагаан керамикийн өндөр температурт тэсвэртэй байдал
Өндөр цэвэршилттэй керамик нунтагаар хийгдсэн керамик хоолойг хуурай шахалт эсвэл хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж аваад өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулдаг. Үрэлтэд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, өндөр хатуулагтай, өндөр бат бөх, үрэлтийн бага коэффициент зэрэг олон давуу талтай тул эмнэлгийн тоног төхөөрөмж, нарийн машин механизм, лазер, хэмжил зүй, хяналтын тоног төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг. Хүчил ба шүлтийн нөхцөлд удаан хугацаанд ажиллах боломжтой бөгөөд хамгийн их температур нь 1600℃ хүртэл байж болно.
-
Өндөр даралттай ба элэгдэлд тэсвэртэй хөнгөн цагааны исэлтэй керамик саваатай керамик поршень
Өндөр цэвэршилттэй керамик нунтагаар хийгдсэн керамик саваа нь хуурай шахалт эсвэл хүйтэн изостатик шахалтаар үүсгэгдэж, өндөр температурт шатаагдаж, дараа нь нарийн боловсруулалт хийдэг. Үрэлтэд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, өндөр хатуулаг, өндөр бат бэх, бага үрэлтийн коэффициент зэрэг олон давуу талтай тул эмнэлгийн тоног төхөөрөмж, нарийн машин механизм, лазер, хэмжил зүй, хяналтын тоног төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг. Хүчил ба шүлтийн нөхцөлд удаан хугацаанд ажиллах боломжтой бөгөөд хамгийн их температур нь 1600℃ хүртэл байж болно.
-
Хөнгөн цагаан керамик гол ханцуйтай керамик поршень
Өндөр цэвэршилттэй керамик нунтагаар хийгдсэн керамик саваа нь хуурай шахалт эсвэл хүйтэн изостатик шахалтаар үүсгэгдэж, өндөр температурт шатаагдаж, дараа нь нарийн боловсруулалт хийдэг. Үрэлтэд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, өндөр хатуулаг, өндөр бат бөх, бага үрэлтийн коэффициент зэрэг олон давуу талтай тул эмнэлгийн тоног төхөөрөмж, нарийн машин механизм, лазер, хэмжил зүй, хяналтын тоног төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг. Хүчил ба шүлтийн нөхцөлд удаан хугацаанд ажиллах боломжтой бөгөөд хамгийн их температур нь 1600°C хүртэл байж болно. Бидний ихэвчлэн ашигладаг керамик материалууд нь цирконий исэл, 95% ~ 99.9% хөнгөнцагаан исэл (Al2O3), цахиурын нитрид (Si3N4), хөнгөнцагаан нитрид (AlN) гэх мэт.
-
Хөнгөн цагааны керамик механик бүтцийн эд ангиудын маш сайн гүйцэтгэл
Керамик бүтцийн эд анги нь янз бүрийн нарийн төвөгтэй хэлбэрийн керамик эд ангиудын ерөнхий нэр томъёо юм. Өндөр цэвэршилттэй керамик нунтагаар хийгдсэн керамик эд ангиудыг хуурай шахалт эсвэл хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж аваад өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулдаг. Үүнийг хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж, оптик холбоо, лазер, эмнэлгийн тоног төхөөрөмж, газрын тос, металлурги, электроникийн үйлдвэрүүдэд өргөн ашигладаг.
-
Хөнгөн цагааны керамик бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Керамик бүтцийн эд анги нь янз бүрийн нарийн төвөгтэй хэлбэрийн керамик эд ангиудын ерөнхий нэр томъёо бөгөөд хуурай шахалт эсвэл хүйтэн изостатик шахалтаар үүсгэгдэж, өндөр температурт шатаагдаж, дараа нь нарийн боловсруулалт хийгддэг.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл нь ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 400℃~800℃ хүрч чадна.
