Хагас дамжуулагч процессын бэхэлгээний керамик тулгуур зүү
St.Cera-ийн керамик тулгуурын зүү (өргөх зүү эсвэл тулгуурын зүү гэгддэг)-ийг хагас дамжуулагч процессын камерт харьцах, халаах эсвэл хөргөх үед вафли эсвэл субстратыг өргөхөд ашигладаг. 99.8% хөнгөн цагааны исэл эсвэл цахиурын нитридээс бүрдсэн эдгээр зүү нь өндөр шахалтын бат бэх, дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцлийг хангадаг. Хагас бөмбөрцөг хэлбэртэй эсвэл хавтгай үзүүртэй загвар нь вафли зурагдахаас сэргийлдэг.
Үзүүлэлтүүд(Хөнгөн цагааны исэл 99.8%):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% Al₂O₃ эсвэл Si₃N₄ |
| Урт | 10 – 100 мм |
| Диаметр | 1 – 10 мм |
| Үзүүрийн хэлбэр | Хавтгай, хагас бөмбөрцөг хэлбэртэй, үзүүртэй |
| Шахалтын бат бэх (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Хамгийн их ажиллах температур (Al₂O₃) | 1600°C |
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хавтгай (Ra ≤0.4 μm) |
| Диаметр дээрх хүлцэл | ±0.01 мм |
Хэрэглээ:
CVD/PVD камеруудад өргөх зүү
Халуун тавган дээр жигнэх зориулалттай тулгуурын зүү
Зонги картын тулгуур бүтэц
Кварц зуухны завины тулгуур
Үйлдвэрлэл:
OD-г нарийн төвгүй нунтаглах → үзүүрийн профилийг алмазан нунтаглах → хэт авианы цэвэрлэгээ → 100% хэмжээст үзлэг.
Чанарын хяналт:
Урт/диаметрийн CMM, үзүүрийн радиусыг тодорхойлох оптик харьцуулагч, шахалтын бат бэхийг шалгах ачааллын туршилт (парк тутамд санамсаргүй дээж). Ферросоронзон бохирдолгүй (соронзоор баталгаажуулсан).
Металл эсвэл кварцын зүүтэй харьцуулахад давуу талууд:
Зэвэрдэггүй гангаас 5 дахин урт эдэлгээтэй
Боловсруулалтын камерт металлын бохирдол байхгүй
Кварцаас илүү өндөр температурын чадвар (1600°C ба 1100°C)
Наалддаггүй гадаргуу (бөөмийн наалдацыг бууруулсан)
Тохируулга:
Олон үзүүртэй профайл, эрчилсэн суурь эсвэл конус хэлбэртэй гол.
Мөн бид хэт хүнд плазмын орчинд зориулсан SiC зүү нийлүүлдэг.
