Нимгэн вафлитай харьцах зориулалттай хөнгөн цагааны исэл дээр суурилсан сүвэрхэг керамик вакуум чак
St.Cera-ийн хөнгөн цагаан исэл дээр суурилсан сүвэрхэг патроныг 99.6% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оор үйлдвэрлэдэг бөгөөд нээлттэй нүх сүвийг 30-45%, нүх сүвний хэмжээ нь 10-50 μм хооронд хэлбэлздэг. Ховилтой патроноос ялгаатай нь сүвэрхэг гадаргуу нь ваферийн ар талын бүх хэсэгт тархсан вакуум үүсгэж, ирмэгийн тэмдэглэгээг арилгаж, хэт нимгэн (≤100 μм) эсвэл муруйсан ваферийг зөөлөн барих боломжийг олгодог. Энэхүү материал нь ≥250 МПа гулзайлтын бат бэх, агаарт 400°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг.
Үзүүлэлтүүд(99.6% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.6% хөнгөн цагаан исэл (цагаан) |
| Сүвэрхэг чанар | 30–45% (тохируулж болно) |
| Нүх сүвний дундаж хэмжээ | 10–50 мкм |
| Гулзайлтын хүч | ≥250 МПа |
| Нягтрал | 3.88 г/см³ |
| Хавтгай байдал (200 мм-ээс дээш) | ≤5 мкм |
| Хамгийн их ажиллах температур | 400°C (агаар) |
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хавтгай (Ra ≤0.8 μm) |
Хэрэглээ:
- · Нимгэн вафли (≤50 μм) ар талыг нунтаглах
- · Шоо дөрвөлжин хэрчих зориулалттай муруй хэлбэртэй вафлийн бэхэлгээ
- · Сингуляр хэлбэртэй хэв авах
- · Шилэн суурьтай харьцах
Үйлдвэрлэл:
Нунтагийг нүх сүв үүсгэгчтэй хольсон → изостатик шахалт → 1600°C-д шатаах → эцсийн зузаан хүртэл давтаж хийнэ. Патрон бүрийг вакуум жигд байдалд (даралтын хазайлт <5%) урсгалаар туршиж, нүх сүвний хэмжээний тархалтыг (SEM) шалгана.
Уламжлалт чихэвчнүүдээс давуу талууд:
- · Валтерийн ар талд тэмдэглэгээ эсвэл хэвний шилжилт байхгүй
- · 500 мкм хүртэл урттай нумтай вафли барина
- · Өөрөө цэвэрлэгдэх гадаргуу (нүх сүв бөглөрөхөөс хамгаална)
- · Дүрэмт хувцасны дэмжлэг нь орон нутгийн стрессийг арилгадаг
Cхэрэглээ:
Дугуй эсвэл дөрвөлжин хэлбэртэй, диаметр нь 100–450 мм. Бүсчилсэн вакуум хяналтад зориулсан ирмэгийн битүүмжлэх цагирагтай.
Өөрийн тодорхой хэмжээтэй вафлины дээжийг хүснэ үү.
