CVD / PVD процессын камерт зориулсан өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик цагираг
St.Cera-ийн керамик цагираг нь CVD (Химийн уурын тунадас) болон PVD (Физик уурын тунадас) процессын камерт ашиглахад зориулагдсан. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэсэн энэхүү цагираг нь плазмыг хязгаарлаж, камерын ханыг элэгдэлээс хамгаалах камерын доторлогоо, фокусын цагираг эсвэл процессын хэрэгслийн бүрэлдэхүүн хэсэг болж үйлчилдэг. Энэхүү материал нь маш сайн плазмын эсэргүүцэл, өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангаж, фтор дээр суурилсан түрэмгий плазмын орчинд удаан эдэлгээтэй ажиллах боломжийг олгодог. Нарийн хэмжээст хүлцэл (ID/OD дээр ±0.05 мм) болон хавтгай байдал (≤10 μm) нь вафлийн ирмэгийг тогтвортой байрлуулах боломжийг олгож, тунадасны жигд байдлыг сайжруулж, бөөмсийн үүсэлтийг бууруулдаг.
Техникийн үзүүлэлтүүд (99.8% Al₂O₃ дээр үндэслэсэн):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Ус шингээлт | 0% |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Хугарлын бат бөх чанар | 3–4 МПа·м¹/² |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Янгийн модуль | 380 ГПа |
| Дулаан дамжуулалт | 32 Вт/м·к |
| Дулааны тэлэлт (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрик хүч чадал | 15×10⁶ В/м |
| Тодорхой эсэргүүцэл | >10¹⁴ Ω·см |
| Хамгийн их ажиллах температур | 1600°C |
Хэрэглээ:
- · CVD камерын фокусын цагираг ба ирмэгийн цагираг
- · PVD камерын бамбай цагираг болон хавчаарын цагираг
- · Сийлбэрийн камерын доторлогоо болон бүрхүүлийн цагираг
- · Диэлектрик сийлбэрийн систем дэх плазмын хязгаарлалтын цагираг
Үйлдвэрлэлийн үйл явц:
Изостатик шахалт → ногоон боловсруулалт → 1600°C температурт шатаах → CNC ID/OD нунтаглалт → гадаргууг өнгөлөх → хэт авианы цэвэрлэгээ → 100% CMM шалгалт. Хэт гөлгөр гадаргуугийн өнгөлгөө (Ra ≤0.4 μm) нь бөөмсийн наалдацыг багасгадаг.
Чанарын хяналт:
- · 100% хэмжээст шалгалт (ID, OD, зузаан, тэгш байдал)
- · Гадаргуугийн бичил хагарлыг шалгахын тулд будагч бодисын нэвтрэлтийн үзлэг
- · ASTM D149 стандартын дагуу диэлектрик бат бэхийн туршилт
- · 20x микроскопоор харахад өнгө өөрчлөгдөх эсвэл сүвэрхэгжилт харагдахгүй
Металл эсвэл кварц цагирагтай харьцуулахад давуу талууд:
- · Фторын плазмын хөнгөн цагаан цагирагнаас 5-10 дахин урт ашиглалтын хугацаатай
- · Нимгэн хальсан дээр металлын бохирдол байхгүй
- · Кварцаас илүү плазмын эсэргүүцэлтэй (элэгдэлд өртөх нүх байхгүй)
- · Удаан хугацаагаар ашигласны дараа ч цахилгаан тусгаарлалтыг >10¹⁴ Ω·см байлгана
Өөр материал — Цахиурын нитрид (Si)₃N₄):
Илүү өндөр хагарлын бат бөх чанар (6.2 МПа·м¹/²) болон илүү сайн дулааны цохилтын эсэргүүцэл (тэлэх коэффициент 3.2×10⁻⁶/℃) шаардлагатай хэрэглээнд Si₃N₄ цагираг байдаг. Гэсэн хэдий ч хөнгөн цагаан исэл нь ихэнх CVD/PVD хэрэглээнд илүү зардал багатай байдаг. Захиалга өгөхдөө материалын сонголтыг тодорхойлно уу.
Тохируулга:
- · Суурилуулах зориулалттай нүх, шаталсан профиль эсвэл эсрэг цооног
- · Плазмын эсэргүүцлийг нэмэгдүүлэхийн тулд Y₂O₃-аар бүрсэн гадаргуу (заавал биш)
- · Эд ангийн дугаар / багцын кодыг лазераар сийлбэрлэх
Тэмдэглэл:Дээрх өгөгдөл нь өгөгдсөн Al₂O₃ шинж чанарын хүснэгтийг чанд баримтална. Si₃N₄ цагирагны хувьд өгөгдсөн тусдаа Si₃N₄ мэдээллийн хуудсыг үзнэ үү.
