Плазмын сийлбэр болон зүрх судасны системийн өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны камерын фокусын цагираг
St.Cera-ийн камерын фокусын цагираг нь плазмын сийлбэр, CVD болон PVD хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг чухал процессын хэрэгслийн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃)-ээр үйлдвэрлэсэн цагираг нь плазмыг хязгаарлаж, ионы өнцгийн тархалтыг оновчтой болгож, улмаар сийлбэрийн гадаргуу дээрх жигд байдлыг сайжруулдаг. Энэхүү материал нь онцгой плазмын эсэргүүцэл, өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангаж, түрэмгий фтор эсвэл хлор дээр суурилсан плазмын орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг. Нарийвчлалтай газардуулгын ID/OD болон тэгш байдал (≤10 μm) нь сийлбэрийн ирмэгийг нарийвчлалтай байрлуулах боломжийг олгодог бөгөөд ирмэгийн согог болон бөөмсийн үүсэлтийг бууруулдаг.
Үзүүлэлтүүд(99.8% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Ус шингээлт | 0% |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Хугарлын бат бөх чанар | 3–4 МПа·м¹/² |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Янгийн модуль | 380 ГПа |
| Дулаан дамжуулалт | 32 Вт/м·к |
| Дулааны тэлэлт (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрик хүч чадал | 15×10⁶ В/м |
| Тодорхой эсэргүүцэл | >10¹⁴ Ω·см |
| Хамгийн их ажиллах температур | 1600°C |
Хэрэглээ:
- · Диэлектрик сийлбэрийн камерын фокусын цагираг (оксид, нитрид сийлбэр)
- · Цахиурын сийлбэрийн камерын ирмэгийн цагираг
- · CVD камерын процессын хэрэгслийн цагираг
- · PVD камерын бамбай болон хавчаарын цагираг
Үйлдвэрлэлийн үйл явц:
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны оксидын нунтагыг изостатик шахалтаар → ногоон аргаар боловсруулж, бараг торон хэлбэртэй болгоно → 1600°C-д шатаана → ID, OD болон зузааныг CNC алмазан нунтаглана → ≤10 μm тэгш байдлыг хангахын тулд давхцуулна → хэт авианы цэвэрлэгээ → 100% CMM шалгалт хийнэ. Гадаргуугийн өнгөлгөөний Ra ≤0.4 μm нь бөөмсийн наалдацыг багасгадаг.
Чанарын хяналт:
- · 100% хэмжээст үзлэг (ID, OD, зузаан, параллелизм)
- · Будагны нэвчилтийн тест (хагарал үүсэхийг хориглоно)
- · 20x микроскопоор харааны үзлэг хийх - хагарал, хоосон зай, өнгө өөрчлөгдөхгүй
- · ASTM D149 стандартын дагуу диэлектрик бат бэхийн туршилт (дээж авах)
Цахиур эсвэл кварц фокусын цагирагтай харьцуулахад давуу талууд:
- · Фтор нүүрстөрөгчийн сийвэн дэх ашиглалтын хугацаа 5-10 дахин урт
- · Вафлиг бохирдуулах элэгдлийн хэсгүүд байхгүй
- · Өндөр диэлектрик бат бэх нь нуман үүсэхээс сэргийлдэг
- · Хэдэн мянган цагийн турш хавтгай байдал болон хэмжээст нарийвчлалыг хадгалдаг
Өөр материал — Иттриагаар тогтворжуулсан циркон (ZrO₂):
Өндөр хагарлын бат бөх чанар шаарддаг хэрэглээнд (жишээлбэл, дулааны мөчлөг эсвэл механик цохилт байнга гардаг камерууд) ZrO₂ фокусын цагираг (нягтрал 6.03 г/см³, гулзайлтын бат бэх 1000 МПа, хугарлын бат бэх 5–8 МПа·м¹/²) байдаг. Гэсэн хэдий ч хөнгөнцагааны исэл нь илүү үр ашигтай бөгөөд ихэнх фокусын цагираг хэрэглээний салбарын стандарт юм.
Тохируулга:
- · Үйлчлүүлэгчийн зураг дээрх шатны профайл, лангуун цооног эсвэл бэхэлгээний нүхнүүд
- · Плазмын элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг нэмэгдүүлэх Y₂O₃ бүрхүүл (зузаан нь 20–100 μм)
- · Эд ангийн дугаар, огнооны код эсвэл тэгшлэх тэмдгийг лазераар тэмдэглэх
Тэмдэглэл:Бүх өгөгдөл нь нийлүүлсэн Al₂O₃ шинж чанарын хүснэгтийг чанд баримталдаг. ZrO₂ үзүүлэлтүүдийг нийлүүлсэн цирконий мэдээллийн хуудсаас лавлана уу. Фокусын цагирагны загварт патентын зөвшөөрөл шаардлагатай байж магадгүй - хэрэглэгчид оюуны өмчийн эрхийг баталгаажуулах үүрэгтэй.
