Уламжлалт Al2O3 болон BeO суурь материалын цогц гүйцэтгэлийн давуу талуудтай хослуулан, өндөр дулаан дамжуулалттай (монокристалын онолын дулаан дамжуулалт 275W/m▪k, поликристалын онолын дулаан дамжуулалт 70~210W/m▪k), бага диэлектрик тогтмолтой, дан талст цахиуртай тохирох дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй, сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанартай хөнгөн цагаан нитрид (AlN) керамик нь микроэлектроникийн салбарт хэлхээний суурь болон сав баглаа боодлын хувьд хамгийн тохиромжтой материал юм. Мөн өндөр температурын механик шинж чанар, дулааны шинж чанар, химийн тогтвортой байдлын ачаар өндөр температурт бүтцийн керамик эд ангиудад чухал материал болдог.
AlN-ийн онолын нягтрал нь 3.26г/см3, MOHS-ийн хатуулаг нь 7-8, өрөөний температурын эсэргүүцэл нь 1016Ωм-ээс их, дулааны тэлэлт нь 3.5×10-6/℃ (өрөөний температур 200℃). Цэвэр AlN керамик нь өнгөгүй, тунгалаг боловч хольцын улмаас саарал, саарал цагаан эсвэл цайвар шар гэх мэт янз бүрийн өнгөтэй байдаг.
Өндөр дулаан дамжуулалтаас гадна AlN керамик нь дараах давуу талуудтай:
1. Цахилгаан тусгаарлагч сайн;
2. Цахиурын монокристалтай төстэй дулааны тэлэлтийн коэффициент нь Al2O3 болон BeO зэрэг материалуудаас давуу;
3. Al2O3 керамиктай өндөр механик бат бэх ба ижил төстэй гулзайлтын бат бэх;
4. Дунд зэргийн диэлектрик тогтмол ба диэлектрик алдагдал;
5. BeO-той харьцуулахад AlN керамикийн дулаан дамжуулалт нь температураас бага хамаардаг, ялангуяа 200℃-ээс дээш;
6. Өндөр температурт тэсвэртэй ба зэврэлтэнд тэсвэртэй;
7. Хоргүй;
8. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, химийн металлургийн үйлдвэрлэл болон бусад үйлдвэрлэлийн салбарт хэрэглэнэ.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 7-р сарын 14