-
Өндөр нарийвчлалтай хөнгөн цагааны керамик цагирагтай керамик эд ангиуд
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
ST.CERA Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн захиалгат керамик хавхлагууд
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Цахиурын карбид (SiC) керамик төгсгөлийн эффектор – Өндөр температурт вафлитай харьцах өндөр хатуулагтай
St.Cera-ийн SiC керамик төгсгөлийн эффекторыг S1111 цуврал материалыг ашиглан өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидоос (SiC агууламж 99.72%, чөлөөт Si 0.05%) үйлдвэрлэдэг. Энэ нь онцгой механик шинж чанартай: гулзайлтын бат бэх 449 МПа (хэмжсэн), уян хатан модуль 457 ГПа (хэмжсэн), Викерсийн хатуулаг 25–28 ГПа (ердийн). Бага нягтралтай (3.10–3.15 г/см³, ердийн) нь өндөр хурдтай вафли дамжуулах роботуудад тохиромжтой өндөр өвөрмөц хатуулгийг өгдөг. 120–150 Вт/м·К (ердийн) дулаан дамжуулалт, 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ердийн) дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй энэхүү төгсгөлийн эффектор нь өндөр температурт ажиллах үед (1600–1700°C хүртэл, ачаалалгүй) дулааныг үр дүнтэй тарааж, хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалдаг. Хар/саарал өнгө, тэг ус шингээлт нь цэвэр өрөөнд нийцтэй байдлыг хангадаг.
-
Өндөр температур болон плазмын орчинд зориулсан цахиурын карбид (SiC) суурьтай вакуум патрон
St.Cera-ийн SiC суурьтай керамик патроныг өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидоос (S1111 цуврал, SiC 99.72%, чөлөөт Si 0.05%) үйлдвэрлэдэг. Энэ нь 449 МПа хэмжсэн гулзайлтын бат бэх, 3.12 МПа·м¹/² хугарлын бат бэх, 457 ГПа уян хатан модуль өгдөг. Материалын ердийн дулаан дамжуулалт (120–150 Вт/м·К) болон бага дулааны тэлэлт (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) нь дулааны мөчлөгийн үед температурын хурдан өсөлт, ваарны гажуудлыг хамгийн бага байлгах боломжийг олгодог. Патроныг сүвэрхэг вакуум патроны (жигд хийн урсгал) эсвэл ховилтой стандарт патроны хэлбэрээр тохируулж болно. Хамгийн их ашиглалтын температур 1600–1700°C (ачаалалгүй), онцгой плазмын элэгдэлд тэсвэртэй тул энэхүү патроныг өндөр температурт ваарны боловсруулалт (шарах, RTP) болон хөнгөн цагаан патроны задралд ордог түрэмгий сийлбэрийн камерт ашиглахад тохиромжтой.
-
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж Керамик сэлбэг хэрэгсэл Керамик тээвэрлэгчид
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Өндөр хатуулагтай өнгөлгөөний зориулалттай металл суурьтай хөнгөн цагаан керамик нунтаглалтын цагираг
St.Cera-ийн металл суурьтай хөнгөн цагаан нунтаглах цагираг нь өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (99.8% Al₂O₃) керамик элэгдлийн давхаргыг нарийн боловсруулсан металл суурьтай (ихэвчлэн хөнгөн цагаан эсвэл зэвэрдэггүй ган) хослуулсан. Энэхүү эрлийз загвар нь нунтаглах гадаргуу дээр керамикийн онцгой элэгдэлд тэсвэртэй байдал болон химийн идэвхгүй байдлыг хангадаг бол металл суурь нь механик бат бөх чанар, хялбар суурилуулалт, хэврэг хугаралд тэсвэртэй байдлыг нэмэгдүүлдэг. Хөнгөн цагааны исэл давхарга нь 361 МПа гулзайлтын бат бэх, 16 ГПа Викерсийн хатуулаг, 800°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Металл суурийг бэхэлгээний нүх, байршлын зүү эсвэл соронзон шинж чанараар нь өөрчилсөн бөгөөд давхцах машин, гаригийн нунтаглагч, CMP тоног төхөөрөмжид нэгтгэх боломжтой.
-
Хагас дамжуулагч датчик станцын тоног төхөөрөмжийн керамик сэлбэг хэрэгсэл
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Al2O3 керамик ваферийн чакийг захиалгаар боловсруулах
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
ST.CERA Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн захиалгат керамик хавтан
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
300 мм-ийн вафер боловсруулах зориулалттай 12 инчийн хөнгөн цагаан вакуум патч
St.Cera-ийн 12 инчийн вакуум патроныг 300 мм-ийн вафертай харьцах зориулалттай 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан исэл (Al₂O₃)-аар нарийн инженерчлэлээр хийсэн. Патроны онцлог нь нарийн ховилтой гадаргуутай (ховилын өргөн 0.5–1.0 мм, алхам 2–3 мм) бөгөөд 300 мм-ийн диаметрийн дагуу вакуум жигд тархалтыг баталгаажуулдаг. Хавтгай байдлыг 5 μм дотор хадгалдаг бөгөөд энэ нь хэрчих, ар талын нунтаглах, шалгах явцад ваферийг гажуудалгүй бэхлэх боломжийг олгодог. Материалын өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа) болон хатуулаг (16 ГПа) нь давтан вакуум циклийн үед ч урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдлыг баталгаажуулдаг.
-
Нэгдсэн вакуум сувагтай хөнгөн цагааны исэлтэй керамик төгсгөлийн эффектор
St.Cera-ийн хөнгөн цагааны ислийн вакуум төгсгөлийн эффектор нь нарийн боловсруулсан вакуум суваг болон сорох нүхийг 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны ислийн биед шууд нэгтгэдэг. Энэхүү загвар нь гаднах вакуум дэвсгэрийг арилгаж, жигд барих хүчээр шууд вафли авах боломжийг олгодог. Материалын өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа) болон хатуулаг (16 ГПа) нь давтагдсан вакуум циклийн үед урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг. Дэвсгэрийн талбайн тэгш байдлыг 10 мкм дотор хадгалж, вафлины стресс болон эвдрэлээс сэргийлдэг. OEM роботын гартай хялбар нэгтгэхийн тулд вакуум портууд нь арын бэхэлгээний фланц дээр байрладаг.
-
Статик мэдрэмтгий вафлитай харьцах зориулалттай ESD-аюулгүй хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик эд ангиуд
St.Cera-ийн ESD (цахилгаан статик цэнэг алдалт)-д аюулгүй хөнгөн цагааны исэл керамик эд ангиудыг 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оос үйлдвэрлэдэг бөгөөд 10⁶–10⁹ Ω/кв гадаргуугийн эсэргүүцэл нь өөрийн гэсэн допинг эсвэл бүрэх процессоор бий болдог. Эдгээр эд ангиуд нь статик цэнэгийг үр дүнтэйгээр сарниулж, мэдрэмтгий хагас дамжуулагч хавтан болон төхөөрөмжүүдэд электростатик гэмтлээс сэргийлдэг. Үндсэн материал нь өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа), хатуулаг (16 ГПа), диэлектрик бат бэх (15×10⁶ В/м)-ээ хадгалдаг. ESD-д аюулгүй керамик эд ангиудад төгсгөлийн эффектор, өргөгч зүү, чиглүүлэгч төмөр зам, FAB автоматжуулалтад зориулсан захиалгат бэхэлгээ багтдаг.
