Муруй вафер боловсруулах зориулалттай сүвэрхэг керамик вакуум чак
St.Cera-ийн сүвэрхэг керамик патрон нь өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны ислээр хийгдсэн бөгөөд 30-45% жигд нээлттэй нүх сүвтэй, 10-100 μм нүх сүвний хэмжээтэй. Уламжлалт ховилтой патроноос ялгаатай нь сүвэрхэг гадаргуу нь ваарны ар талын бүхэлд нь тархсан вакуум үүсгэж, муруйсан, нимгэн эсвэл гажсан ваферуудыг ирмэг нь салгагдаж, хугарахгүй үр дүнтэй барьдаг. Зөөлөн вакуум (хязгаарлагчаар тохируулж болно) нь ар талын тэмдэглэгээ үүсэхээс сэргийлдэг.
Үзүүлэлтүүд(99.6% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Сүвэрхэг чанар | 30–45% |
| Нүх сүвний дундаж хэмжээ | 10–100 μм (сонголттой) |
| Гулзайлтын хүч | ≥250 МПа |
| Хавтгай байдал (300 мм-ээс дээш) | ≤5 мкм |
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хавтгай (Ra 0.8 μm) |
| Вакуумын дээд түвшин | -80 кПа |
| Ашиглалтын температур | 400°C (агаар), 600°C (идэвхгүй) |
| Материал | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, эсвэл SiC |
Хэрэглээ:
Нимгэн вафли (≤50 μм) ар талыг нунтаглах
Зүсэх зориулалттай муруй хэлбэртэй вафлийн бэхэлгээ
Туузнаас сингуляр хэлбэртэй хэв авах
Шилэн хавтангийн харьцах үйлчилгээ
Үйлдвэрлэл ба чанар:
Керамик нунтагыг органик нүх сүв үүсгэгчтэй хольж → шахаж → шатааж → эцсийн зузаан хүртэл давхцуулна. Патрон бүрийг вакуум жигд байдалд (≤5% хазайлт) урсгалаар туршиж, нүх сүвний хэмжээний тархалтыг (SEM) шалгана. Хавтгай байдлыг лазер интерферометрээр хэмжинэ.
Ховилтой Чактай харьцуулахад давуу талууд:
Валтерийн ирмэгийн тэмдэглэгээ эсвэл хэвний шилжилт байхгүй
Муруй хэлбэртэй вафли барьдаг (500 мкм хүртэл урттай)
Вакуум нүхний бөглөрөлийг арилгана
Нимгэн суурьтай өөрөө тэгшлэх тулгуур
Тохируулга:
Дугуй эсвэл тэгш өнцөгт хэлбэртэй, 600 мм хүртэл хэмжээтэй. Бид ирмэгийн битүүмжлэх цагираг эсвэл бүсийн вакуум хуваалтыг ашиглаж болно. Өндөр хатуулгийн шаардлагад нийцүүлэн металл суурьтай хувилбарууд байдаг.
Вафлийн хэмжээ болон гажуудлын туршилтын дээж хүснэ үү.
