Хагас дамжуулагч болон үйлдвэрлэлийн зориулалттай өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик эд ангиуд
St.Cera нь хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн нарийн боловсруулсан хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃) керамик эд анги үйлдвэрлэдэг. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл ашиглан эдгээр эд ангиуд нь маш сайн гулзайлтын бат бэх (361 МПа), өндөр хатуулаг (16 ГПа), гайхалтай диэлектрик бат бэх (15 × 10⁶ V/m)-ийг хангадаг. Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж, элэгдэлд тэсвэртэй угсралт, цахилгаан тусгаарлагч, өндөр температурт зориулсан уг материал нь тэгтэй ойролцоо ус шингээлт (0%) болон 7.2 × 10⁻⁶/℃ дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй тул хэт хүнд нөхцөлд хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг.
Үзүүлэлтүүд(99.8% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃):
Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Хугарлын бат бөх чанар | 3–4 МПа·м¹/² |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Янгийн модуль | 380 ГПа |
| Дулаан дамжуулалт | 32 Вт/м·к |
| Дулааны тэлэлт (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрик тогтмол | 9.6 |
| Диэлектрик алдагдлын өнцөг | 0.0001 |
| Диэлектрик хүч чадал | 15×10⁶ В/м |
| Тодорхой эсэргүүцэл | >10¹⁴ Ω·см |
| Хамгийн их ажиллах температур | 1600°C |
Хэрэглээ:
- · Хагас дамжуулагч процессын камерын доторлогоо, харах цонх, хийн хуваарилах хавтан
- · Элэгдэлд тэсвэртэй бут, битүүмжлэх цагираг болон холхивчийн бөмбөлөг
- · Өндөр хүчдэлийн цахилгаан тусгаарлагч болон оч залгуурын тусгаарлагч
- · Зуухны бэхэлгээ, халаагчийн тулгуур болон термопарын хамгаалалтын хоолой
Үйлдвэрлэлийн үйл явц:
Изостатик шахалт → ногоон боловсруулалт → 1600°C температурт шатаах → CNC нарийвчлалтай нунтаглах / давхцуулах → хэт авианы цэвэрлэгээ → 100% CMM хэмжээст үзлэг. Нарийн төвөгтэй геометр, нимгэн хана (≥0.5 мм), хатуу хүлцэл (±0.01 мм хүртэл)-ийг тогтмол хийдэг.
Чанарын хяналт:
ISO 9001:2015 гэрчилгээтэй. Багц бүрийг гулзайлтын бат бэх (3 цэгийн нугалалт), хатуулаг (Викерс), диэлектрик бат бэх (ASTM D149) болон дулааны цохилтын эсэргүүцэл (10 цикл, 25°C ↔ 1000°C)-д туршсан. 20× микроскопоор харахад ан цав, хагарал харагдахгүй.
Металл эсвэл полимер эд ангиудтай харьцуулахад давуу талууд:
- · Зэвэрдэггүй гангаас 3–5 дахин хатуу (16 ГПа vs. ~2 ГПа)
- · Химийн хувьд идэвхгүй — хүчил, шүлт болон галогенд тэсвэртэй (HF-ээс бусад)
- · Цахилгаан тусгаарлагч >10¹⁴ Ω·см, өндөр хүчдэлийн орчинд ашиглах боломжтой
- · 1600°C хүртэл тасралтгүй үйлчилгээтэй, металл эсвэл хуванцарын хязгаараас хамаагүй давсан
Тохируулга:
Бид үйлчлүүлэгчийн зургийг хүлээн авдаг (STEP/IGS форматаар) бөгөөд хурдан туршилтын загвар гаргах (2-3 долоо хоног) санал болгодог. Эд ангиудыг шатаасан, нунтагласан, давхцуулсан эсвэл өнгөлсөн (Ra ≤0.05 μm) хэлбэрээр нийлүүлж болно. Ирмэгийг бөөрөнхийлөх, эсрэг нүх гаргах, эрчилсэн нүх гаргах, вакуум ховил хийх боломжтой.
Тайлбар: Хагарлын өндөр бат бэх шаардлагатай хэрэглээний хувьд цирконий (ZrO₂) эд ангиудыг авч үзнэ үү. Хамгийн өндөр дулаан дамжуулалтын хувьд манай BeO эсвэл Si₃N₄ бүтээгдэхүүнээс лавлана уу. Дээрх бүх өгөгдөл нь нийлүүлсэн Al₂O₃ шинж чанарын хүснэгтийг (99.8% агуулга) чанд баримтална.
