Өндөр температурын камер битүүмжлэх зориулалттай өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик битүүмжлэх цагираг
St.Cera-ийн керамик битүүмжлэх цагираг нь эластомерууд задалдаг онцгой орчинд полимер О-цагирагны оронд ашиглагдахаар бүтээгдсэн. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэсэн энэхүү хатуу битүүмжлэх цагиргийг 800°C хүртэлх температурт болон түрэмгий плазм эсвэл химийн орчинд найдвартай вакуум эсвэл хийн хамгаалалтыг хангахын тулд статик битүүмжлэх хэрэглээнд ашигладаг. Энэ материал нь хийн ялгаралтгүй, өндөр шахалтын бат бэх (суурь гулзайлтын бат бэх 361 МПа), химийн идэвхгүй байдал (HF-ээс бусад галоген, хүчил, шүлтэд тэсвэртэй) зэрэг давуу талуудтай. Нарийвчлалтай битүүмжлэх гадаргуу (хавтгай ≤5 μм, гадаргуугийн барзгаржилт Ra ≤0.2 μм) нь металл эсвэл керамик эд ангиудтай нэвчихээс хамгаалсан холбоо барих боломжийг олгодог.
Үзүүлэлтүүд(99.8% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Ус шингээлт | 0% |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Шахалтын бат бэх (тооцоолол) | >2000 МПа |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Дулааны тэлэлт (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Хамгийн их ажиллах температур | 800°C (агаар), 1600°C (идэвхгүй) |
| Гадаргуугийн өнгөлгөө (битүүмжлэх гадаргуу) | Ra ≤0.2 μм (давхарласан) |
| Хавтгай байдал (25 мм тутамд) | ≤5 мкм |
| Гелийн алдагдлын хурд | <1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (тохирох жийргэвчтэй) |
Хэрэглээ:
- · Хагас дамжуулагч процессын камерын статик битүүмжлэл (CVD, PVD, etch)
- · Өндөр температурт зуухны хаалганы битүүмжлэл
- · Вакуум дамжуулагч фланц
- · Химийн реакторын савны хаалтууд
Үйлдвэрлэлийн үйл явц:
Изостатик шахалт → 1600°C температурт шатаах → хэт хавтгай, гөлгөр битүүмжлэлийн гадаргуу үүсгэхийн тулд хоёр талдаа нарийн давхцах → ирмэгийн өнцөг үүсгэх → хэт авианы цэвэрлэгээ. Цагираг бүрийг стандарт металл жийргэвч бүхий гелийн алдагдал илрүүлэгч дээр 100% гоожиж шалгадаг.
Чанарын хяналт:
- · CMM хэмжээст шалгалт (ID, OD, зузаан, параллелизм)
- · Ra болон долгионы гадаргуугийн профайлометр
- · Оптик хавтгай ашиглан хавтгай хэмжилт
- · Гелийн нэвчилтийн туршилт (буцах даралттай арга)
Полимер О-цагирагтай харьцуулахад давуу талууд:
- · FFKM-ийн хувьд 800°C, <300°C-д тэсвэртэй
- · Хий ялгаруулалтгүй — вакуум орчны бохирдолгүй
- · Плазмын бүх химийн бодисуудад (фтор, хлор, хүчилтөрөгч) тэсвэртэй
- · Шахалтын тохиргоо эсвэл байнгын деформаци байхгүй
- · Цэвэр орчинд хязгааргүй ашиглалтын хугацаа
Хязгаарлалтууд (Шүүмжлэлтэй тэмдэглэл):
- · О хэлбэрийн цагираг биш— энэ нь зөөлөн жийргэвч (зэс, хөнгөн цагаан эсвэл бал чулуу) шаарддаг хатуу керамик цагираг юм.
- · Динамик хөдөлгөөн эсвэл фланцын том буруу байрлалыг хүлээн зөвшөөрдөггүй.
- · Полимер О-цагирагнаас анхны өртөг өндөр боловч ашиглалтын хугацаа урт байх нь эзэмшлийн зардлыг бууруулдаг.
- · Хэврэг — болгоомжтой харьцах; цэгэн цохилт эсвэл нугалах стрессээс зайлсхий.
Тэмдэглэл:Дээрх өгөгдөл нь өгөгдсөн Al₂O₃ шинж чанарын хүснэгтийг чанд баримталж байна. Эластомер материалын талаарх мэдээлэл өгөөгүй болно. Энэ бүтээгдэхүүн нь эластомер O-цагираг биш, харин статик битүүмжлэх цагираг юм. Энэ нь таны хэрэглээний шаардлагыг хангаж байгаа эсэхийг баталгаажуулна уу.
