CVD/PVD шүршүүрийн толгойд зориулсан хөнгөн цагааны хийн хуваарилах хавтан
St.Cera-ийн хийн хуваарилах хавтан (шүршүүрийн толгой) нь өндөр цэвэршилттэй 99.8% хөнгөн цагааны исэл агуулсан керамикаар нарийн боловсруулсан. Энэ нь CVD, PVD, эсвэл ALD процессын үед вафлийн гадаргуу дээгүүр жигд хийн урсгалыг хангадаг олон тооны бичил нүхнүүдтэй (диаметр нь 0.3-1.5 мм). Хавтангийн өндөр диэлектрик бат бэх (>15×10⁶ V/m) болон плазмын эсэргүүцэл нь хагас дамжуулагч нимгэн хальсан тунадасжуулалтад зайлшгүй шаардлагатай болгодог.
Үзүүлэлтүүд:
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% Al₂O₃ эсвэл SiC |
| Диаметр | 100 – 1500 мм (дугуй) эсвэл тэгш өнцөгт |
| Зузаан | 5 – 20 мм |
| Нүхний диаметр | 0.3 – 1.5 мм |
| Нүхний хээ | Захиалгат (гурвалжин, дөрвөлжин, радиаль) |
| Хавтгай байдал | Бүтэн талбай дээр ≤10 μм |
| Гадаргуугийн барзгар байдал | Ra ≤0.6 μм (хийн тал) |
| Нээлттэй талбайн харьцаа | 5–15% |
Хэрэглээ:
PECVD шүршүүрийн толгойн хавтан
ALD хийн шахуурга
Зүссэн камерын хийн хуваарилах хавтан
MOCVD реакторын бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Үйлдвэрлэл:
Хөнгөн цагааны ислийн суурь дээр хавтгай гадаргуутай → Алмазан бүрсэн багажаар CNC өрөмдлөг (нүхний байрлалын хүлцэл ±0.02 мм) → гуужуулагч → хэт авианы цэвэрлэгээ → 100-р ангиллын сав баглаа боодол.
Чанарын хяналт:
Хавтан бүрийг нүхний хэмжээ (харааны систем), тэгш байдал (лазер интерферометр), хийн урсгалын жигд байдал (даралтын зураглал)-ыг 100% шалгана. 20x микроскопоор бичил хагарал байхгүй.
Металл хавтангаас давуу талууд:
Нимгэн хальсан дээр металлын бохирдол байхгүй
Бөөмийн үүсэлт бага (зэврэлтийн үйрмэг байхгүй)
Түрэмгий цэвэрлэгээний плазмуудыг тэсвэрлэдэг (CF₄, NF₃)
Захиалгат онцлогууд:
Арын хийн суваг, эсрэг өрөмдлөгийн нүх, ирмэгийн битүүмжлэл болон өөр өөр материалын зэрэглэл (дулаан дамжуулалтыг нэмэгдүүлэхийн тулд SiC, плазмын эсэргүүцлийг нэмэгдүүлэхийн тулд Y₂O₃ бүрхүүл).
Бид үйлдвэрлэхээс өмнө CAD баталгаажуулалт болон урсгалын симуляцийг хийдэг.
