Хагас дамжуулагч бэхэлгээний нарийвчлалтай хөнгөн цагаан керамик байршлын саваа
St.Cera-ийн керамик байршлын саваа нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-ээс нарийн нунтагладаг. Энэ нь өндөр хатуулаг (16 GPa), маш сайн элэгдэлд тэсвэртэй, хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг. Диаметрийн хүлцэл ±0.005 мм хүртэл нягт, урт нь 150 мм хүртэл байдаг. Савааны гадаргууг жигд оруулах, салгахын тулд Ra ≤0.2 μм хүртэл давхцуулдаг. Хагас дамжуулагч процессын бэхэлгээ, вафлийн кассет болон хяналтын тоног төхөөрөмжид тэгшлэх зүү, dowel зүү эсвэл байрлуулах зогсоол болгон ашигладаг.
Техникийн үзүүлэлтүүд (99.8% Al₂O₃ дээр үндэслэсэн):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Янгийн модуль | 380 ГПа |
| Диаметрийн хүрээ | 1–20 мм |
| Уртын хүрээ | 5–150 мм |
Хэрэглээ:
- · Ваферын кассетны тохируулгын зүү
- · Өргөх зүүний чиглүүлэгч бутнууд
- · Бэхэлгээний байршлыг тогтоох dowels
- · Зонги картын тохируулгын тулгуурууд
Гантай харьцуулахад давуу талууд:
- · Соронзон бус, зэврэлтэнд тэсвэртэй
- · Элэгдэлээс болж бөөмс үүсэхгүй
- · Цахилгаан тусгаарлагч (>10¹⁴ Ω·мм²/м)
Тохируулга:
Налуу үзүүр, алхамын диаметр, урсгалтай нүх, эсвэл захиалгаар хийсэн үзүүрийн профайл.
