Хөнгөн цагаан дээр суурилсан стандарт вакуум шаантаг – Нарийвчлалтай боловсруулах өндөр хатуулагтай
Энэхүү хөнгөн цагаан исэл дээр суурилсан вакуум патроныг 99.8% Al₂O₃-оор үйлдвэрлэдэг бөгөөд захиалгат вакуум ховилын хээтэй гөлгөр, сүвэрхэг бус гадаргууг санал болгодог. Энэ нь онцгой хатуулаг (Young-ийн модуль 380 GPa) болон тэгш байдлыг (≤3 μm) хангадаг тул хагас дамжуулагч вафер болон оптик эд ангиудыг нарийн нунтаглах, давхцуулах, жижиглэхэд тохиромжтой. Материалын өндөр дулаан дамжуулалт (32 Вт/м·к) нь боловсруулалтын явцад температурын жигд байдлыг хангадаг.
Үзүүлэлтүүд(99.8% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Янгийн модуль | 380 ГПа |
| Дулаан дамжуулалт | 32 Вт/м·к |
| Хавтгай байдал | ≤3 μм (200мм-ээс дээш) |
| Гадаргуугийн барзгар байдал (Чак тал) | Ra ≤0.4 μм |
| Хамгийн их ажиллах температур | 800°C |
Хэрэглээ:
- · Ваферын ар талыг нунтаглах (том ширхэгтэй, нарийн ширхэгтэй)
- · Хэврэг материалыг нарийн зүсэх
- · Керамик суурь давхаргыг наах
- · Оптик линз өнгөлөх
Үйлдвэрлэл:
Хоёр талыг нарийн давхцуулах → алмазан ховил (заавал биш) → ирмэгийг бөөрөнхийлөх → хэт авианы цэвэрлэгээ → лазер интерферометрээр 100% тэгш байдлыг шалгах.
AДавуу талууд:
- · Хатуу тулгуур нь ачааллын дор хазайлтыг багасгадаг
- · Сүвэрхэг бүтцээс бөөмс үүсэхгүй
- · Цэвэрлэхэд хялбар (уусгагчаар арчих боломжтой)
- · Тохируулж болох вакуум ховил (концентрик, радиаль, захиалгат хэв маяг)
Бэлэн байгаа хэмжээ:
Дугуй: 100мм, 150мм, 200мм, 300мм; хүсэлтийн дагуу дөрвөлжин/тэгш өнцөгт хэлбэртэй.
Мөн бид илүү өндөр механик бат бөх чанарыг хангахын тулд металл суурьтай хувилбаруудыг санал болгож байна.
