Нарийвчлалтай зүсэх болон нунтаглах зориулалттай хөнгөн цагаан вакуум пах
St.Cera-ийн хөнгөн цагааны ислийн вакуум патроныг 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оос нарийн боловсруулсан вакуум ховилтойгоор үйлдвэрлэдэг. Бидний нарийн нунтаглах чадвар нь 0.003 мм хавтгай, 0.002 мм параллелизмыг бий болгодог бөгөөд энэ нь хэрчих, ар талын нунтаглах, шалгах явцад гажуудалгүй вафийн бэхэлгээг баталгаажуулдаг. Энэ материал нь өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа), хатуулаг (16 ГПа), 800°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. 600 мм хүртэл гадна диаметртэй (OD) дугуй хэлбэртэй, 1500 мм хүртэл урттай тэгш өнцөгт хэлбэртэй байдаг. Вакуум ховилыг тодорхой процессын шаардлагад нийцүүлэн захиалгаар (концентрик, радиаль эсвэл торон хээ) хийдэг. Патроны патроныг лазер интерферометрээр шалгаж, хавтгай байдлын баталгаажуулалтын тайлантай хамт өгдөг.
Техникийн үзүүлэлтүүд (99.8% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃& St.Cera үйлдвэрлэлийн хүчин чадал):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Гадна диаметр (хамгийн их) | 600 мм |
| Зузаан (хамгийн их) | 100мм |
| Урт (хамгийн их) | 1500мм |
| Хавтгай байдал | 0.003 мм |
| Параллелизм | 0.002 мм |
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Ra0.1 |
| Хамгийн их ажиллах температур | 800°C |
Хэрэглээ:
- · Вафлины жижиглэн хэрчих болон хэвлэх (200мм/300мм ба түүнээс дээш)
- · Нимгэн вафлиг ар талаас нь нунтаглах
- · Оптик үзлэг ба датчик
- · Том хэмжээтэй субстрат боловсруулах
Үйлдвэрлэлийн нарийвчлал:
- · Шулуун байдал: 0.005 мм
- · Перпендикуляр байдал: 0.005 мм
- · Дугуйрсан хэмжээ: 0.002 мм
- · Төвлөрөл: 0.01мм
