300 мм-ийн вафер боловсруулах зориулалттай 12 инчийн хөнгөн цагаан вакуум патч
St.Cera-ийн 12 инчийн вакуум патроныг 300 мм-ийн вафертай харьцах зориулалттай 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан исэл (Al₂O₃)-аар нарийн инженерчлэлээр хийсэн. Патроны онцлог нь нарийн ховилтой гадаргуутай (ховилын өргөн 0.5–1.0 мм, алхам 2–3 мм) бөгөөд 300 мм-ийн диаметрийн дагуу вакуум жигд тархалтыг баталгаажуулдаг. Хавтгай байдлыг 5 μм дотор хадгалдаг бөгөөд энэ нь хэрчих, ар талын нунтаглах, шалгах явцад ваферийг гажуудалгүй бэхлэх боломжийг олгодог. Материалын өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа) болон хатуулаг (16 ГПа) нь давтан вакуум циклийн үед ч урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдлыг баталгаажуулдаг.
Үзүүлэлтүүд (99.8% Al₂O₃ дээр үндэслэсэн):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Диаметр | 300 мм (12 инч) |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Хавтгай байдал (300 мм-ээс дээш) | ≤5 мкм |
| Ховилын өргөн | 0.5–1.0 мм |
| Хамгийн их ажиллах температур | 800°C |
| Диэлектрик хүч чадал | 15×10⁶ В/м |
Хэрэглээ:
300 мм-ийн вафлийн зүсэлт ба сийлбэр
Вафлийн ар талыг нунтаглах (нимгэн вафлийн тулгуур)
Оптик үзлэг ба датчик
Түр зуурын холболт/богцооноос гаргах патрон
Үйлдвэрлэл:
CNC аргаар нунтаглаж, эцсийн тэгш байдал хүртэл нь давхцуулж, алмазан дугуйгаар ховил хийж, хэт авианы аргаар цэвэрлэж, 100-р зэрэглэлийн цэвэр өрөөнд савлана. Патрон бүрийг тэгш байдал (лазер интерферометр) болон ховилын гүн (профилометр)-ийг 100% шалгана.
Давуу талууд:
Бага хэмжээний бөөмс үүсэх (≤0.05 бөөмс/см²)
Уусгагч болон хүчилд химийн хувьд идэвхгүй
ESD-д аюулгүй гадаргуу (эсэргүүцэл >10¹³ Ω·см)
Захиалгат вакуум нүхний загвар болон арын портууд боломжтой.
