Тефлон бүрсэн керамик төгсгөлийн эффектор – Мэдрэмтгий вафлитай харьцах зориулалттай наалддаггүй гадаргуу
St.Cera-ийн Teflon (PTFE) бүрсэн керамик төгсгөлийн эффектор нь өндөр бат бэх хөнгөнцагааны ислийн суурь ба жигд, бага үрэлттэй PTFE бүрээс (зузаан нь 15–30 μм)-ийг хослуулсан. Бүрхүүл нь маш бага үрэлтийн коэффициент (≤0.1), маш сайн химийн эсэргүүцэл, наалддаггүй шинж чанарыг хангаж, вафлийн наалдацаас сэргийлж, ар талын бохирдлыг арилгадаг. Доорх керамик суурь (99.8% Al₂O₃) нь өндөр гулзайлтын бат бэх (361–1000 МПа), элэгдэлд тэсвэртэй, 260°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг (бүрхүүлийн хязгаар). Энэхүү төгсгөлийн эффектор нь эмзэг, нимгэн эсвэл наалдамхай вафлитай харьцахад тохиромжтой (жишээлбэл, фоторезист бүрэх эсвэл химийн процессын дараа).
Үзүүлэлтүүд (PTFE бүрээстэй 99.8% Al₂O₃ суурь дээр суурилсан):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Субстратын материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Бүрэх материал | PTFE (Тефлон) |
| Бүрээсний зузаан | 15–30 мкм |
| Үрэлтийн коэффициент (бүрсэн) | ≤0.1 |
| Субстратын нугалах бат бэх (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Субстратын хатуулаг (Al₂O₃) | 16 ГПа |
| Субстратын нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Хамгийн их ажиллах температур (бүрэх хязгаар) | 260°C |
| Гадаргуугийн барзгаржилт (бүрэхээс өмнө) | Ra ≤0.4 μм |
| Диэлектрик хүч чадал (субстрат) | 15×10⁶ В/м |
Тэмдэглэл: PTFE бүрхүүл нь хамгийн их температурыг 260°C хүртэл хязгаарладаг; өндөр температурт хэрэглэхийн тулд бүрээгүй керамик эсвэл бусад бүрхүүлийг авч үзнэ үү.
Хэрэглээ:
- · Фоторезист бүрхүүлийн дараа (наалдамхай гадаргуу) вафлитай харьцах
- · Нимгэн эсвэл хэврэг вафлиг шилжүүлэх (наалдахаас сэргийлнэ)
- · Хагас дамжуулагчийн үзлэг ба хэмжилзүйн хэрэгслүүд
- · Бөөмийн бохирдлыг хамгийн бага байлгах ёстой цэвэр өрөөний автоматжуулалт
Үйлдвэрлэлийн үйл явц:
Керамик субстратыг нарийн нунтаглаж, гадаргууг барзгаржуулах (плазмын сийлбэр эсвэл элс цацах) → PTFE шүрших бүрхүүл → 380°C-д дулаанаар хатаах → эцсийн үзлэг. Төгсгөлийн эффектор бүрийг бүрэх зузаан (хуйлралттай гүйдэл), наалдац (ASTM D3359 хөндлөн огтлолын туршилт) болон үрэлтийн коэффициентийг шалгана.
Чанарын хяналт:
Зүүний нүх эсвэл бөмбөлөг байгаа эсэхийг 100% харааны үзлэгээр шалгасан; бүрхүүлийн зузаан нь ±5 μм дотор жигд байсан; гэрчийн купон дээр 90° нугалах туршилтын дараа хальслахгүй. OEM хүлцэлтэй нийцсэн хэмжээсийг шалгасан (урт ±0.05 мм, тэгш байдал ≤0.1 мм).
Бүрээгүй болон бусад бүрхүүлээс давуу талууд:
- · Наалддаггүй гадаргуу нь ваарны наалдац болон хугарлаас сэргийлдэг
- · Керамик бүрхүүлүүдийн дундаас хамгийн бага үрэлтийн коэффициент
- · Химийн бодисуудад маш сайн тэсвэртэй (хүчил, суурь, уусгагч)
- · Материалын шилжилтийг зогсоосноор бөөмсийн үүсэлтийг бууруулдаг
Хязгаарлалтууд (материалын хазайлтын талаарх тайлбар):
PTFE бүрхүүл нь өгөгдсөн материалын шинж чанарын хүснэгтээс (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) гараагүй болно. Субстратын шинж чанар нь өгөгдсөн мэдээллийн хуудсыг чанд дагаж мөрддөг (99.8% Al₂O₃). Бүрхүүлийн мэдээлэл өгөөгүй тул бүрхүүлийн шинж чанар нь салбарын стандартын PTFE үзүүлэлтүүд дээр үндэслэсэн болно. 260°C-аас дээш температурт хэрэглэхэд бүрхүүлгүй керамик төгсгөлийн эффектор ашиглахыг зөвлөж байна.*
Тохируулга:
150–1500 мм урттай, үзүүрийн хэлбэртэй (ирмэгийн бариул, Бернулли, хавтгай), OEM зургийн дагуу бэхэлгээний фланцын хээтэй. Хэсэгчилсэн бүрэх (зөвхөн хүрэлцэх хэсгүүд) эсвэл бүрэн бүрэх сонголттой.
Наалдац ба үрэлтийн туршилтын дээж хүсэх.
