Нарийвчлалтай керамик хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик ваферийн бариултай гар хагас дамжуулагч керамик

Товч тайлбар:

Өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтээс хамгаалагдсан, үрэлтэд тэсвэртэй, дулаалгатай керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийд удаан хугацаанд тэсвэртэй олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ажиллах боломжтой.

Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.