Физик ууршуулах системд зориулсан хөнгөн цагааны исэл PVD тусгаарлагч цагираг
St.Cera-ийн PVD тусгаарлагч цагираг нь физик ууршилтын (PVD) системд ашиглах зориулалттай 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэгддэг. Цагираг нь камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хооронд цахилгаан тусгаарлалтыг хангаж, нуман үүсэхээс сэргийлж, плазмын тогтвортой ажиллагааг хангадаг. Гол шинж чанаруудад өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), хувийн эсэргүүцэл >10¹⁴ Ω·mm²/m, 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал орно. Бидний нарийн боловсруулалтын чадвар нь гадна диаметрийг 600 мм хүртэл, дотор диаметрийг 0.2 мм хүртэл бууруулж, 0.003 мм тэгш, гадаргуугийн өнгөлгөөг Ra0.1 болгодог. Цагирагны тэг сүвэрхэг чанар болон химийн идэвхгүй байдал нь түрэмгий цацалтын орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг.
Техникийн үзүүлэлтүүд (99.8% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃& St.Cera үйлдвэрлэлийн хүчин чадал):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Диэлектрик хүч чадал | 15×10⁶ В/м |
| Тодорхой эсэргүүцэл | >10¹⁴ Ω·мм²/м |
| Хамгийн их гадна диаметр | 600 мм |
| Хамгийн бага дотоод диаметр | 0.2 мм |
| Хамгийн их зузаан | 100мм |
| Хавтгай байдал | 0.003 мм |
| Параллелизм | 0.002 мм |
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Ra0.1 |
| Хамгийн их ажиллах температур | 1600°C |
Хэрэглээ:
- · PVD систем дэх байны тулгуур хавтангийн тусгаарлагч
- · Камерын тэжээлийн тусгаарлагч
- · Шүршигч систем дэх бамбай цагираг тусгаарлагч
- · Плазмын камерт өндөр хүчдэлийн тусгаарлалт хийх
Үйлдвэрлэлийн нарийвчлал:
Концентратив байдал: 0.01 мм, дугуйрсан байдал: 0.002 мм, шулуун байдал: 0.005 мм, перпендикуляр байдал: 0.005 мм, CMM-ээр баталгаажсан.
AПолимер тусгаарлагчтай харьцуулахад давуу талууд:
- · Полимерийн <300°C хязгаартай харьцуулахад 1600°C температурт тэсвэртэй
- · Хий ялгаруулахгүй – вакуум бүрэн бүтэн байдлыг хадгална
- · Плазмын элэгдэл болон химийн халдлагад тэсвэртэй
Тохируулга:
Захиалгат хөндлөн огтлол, угсралтын онцлог, шаталсан профайл болон олон төвлөрсөн цагирагны загварууд боломжтой.
