-
ST.CERA Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн захиалгат керамик хавхлагууд
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Хагас дамжуулагч датчикийн тоног төхөөрөмжийн керамик сэлбэг хэрэгсэл
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Хагас дамжуулагч болон үйлдвэрлэлийн зориулалттай өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик эд ангиуд
St.Cera нь хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн нарийн боловсруулсан хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃) керамик эд анги үйлдвэрлэдэг. 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл ашиглан эдгээр эд ангиуд нь маш сайн гулзайлтын бат бэх (361 МПа), өндөр хатуулаг (16 ГПа), гайхалтай диэлектрик бат бэх (15 × 10⁶ V/m)-ийг хангадаг. Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж, элэгдэлд тэсвэртэй угсралт, цахилгаан тусгаарлагч, өндөр температурт зориулсан уг материал нь тэгтэй ойролцоо ус шингээлт (0%) болон 7.2 × 10⁻⁶/℃ дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй тул хэт хүнд нөхцөлд хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг.
-
Хагас дамжуулагч процессын бэхэлгээний керамик тулгуур зүү
St.Cera-ийн керамик тулгуурын зүү (өргөх зүү эсвэл тулгуурын зүү гэгддэг)-ийг хагас дамжуулагч процессын камерт харьцах, халаах эсвэл хөргөх үед вафли эсвэл субстратыг өргөхөд ашигладаг. 99.8% хөнгөн цагааны исэл эсвэл цахиурын нитридээс бүрдсэн эдгээр зүү нь өндөр шахалтын бат бэх, дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцлийг хангадаг. Хагас бөмбөрцөг хэлбэртэй эсвэл хавтгай үзүүртэй загвар нь вафли зурагдахаас сэргийлдэг.
-
Хагас дамжуулагч бэхэлгээний өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик цөм
St.Cera-ийн хөнгөн цагаан исэл керамик цөм нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оос нарийн боловсруулсан бөгөөд онцгой диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал, ачааллын дор мөлхөх эсэргүүцлийг санал болгодог. Эдгээр цөмийг өндөр температурт боловсруулах төхөөрөмж, халаагчийн суурь, плазмын камерын доторлогоо, цахилгаан тусгаарлагч зэрэгт бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсэг болгон ашигладаг. Материалын өндөр хатуулаг (16 ГПа) болон ус шингээлт багатай (0%) нь хатуу ширүүн орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг.
-
ST.CERA Хөнгөн цагааны керамик цагираг болон керамик дискэнд зориулсан
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
