Цахиурын карбид (SiC) керамик төгсгөлийн эффектор – Өндөр температурт вафлитай харьцах өндөр хатуулагтай
St.Cera-ийн SiC керамик төгсгөлийн эффекторыг S1111 цуврал материалыг ашиглан өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидоос (SiC агууламж 99.72%, чөлөөт Si 0.05%) үйлдвэрлэдэг. Энэ нь онцгой механик шинж чанартай: гулзайлтын бат бэх 449 МПа (хэмжсэн), уян хатан байдлын модуль 457 ГПа (хэмжсэн), Викерсийн хатуулаг 25–28 ГПа (ердийн). Бага нягтралтай (3.10–3.15 г/см³, ердийн) нь өндөр хурдтай вафли дамжуулах роботуудад тохиромжтой өндөр өвөрмөц хатуулгийг өгдөг. 120–150 Вт/м·К (ердийн) дулаан дамжуулалт, 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ердийн) дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй энэхүү төгсгөлийн эффектор нь өндөр температурт ажиллах үед (1600–1700°C хүртэл, ачаалалгүй) дулааныг үр дүнтэй тарааж, хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалдаг. Хар/саарал өнгө, тэг ус шингээлт нь цэвэр өрөөнд нийцтэй байдлыг хангадаг.
Үзүүлэлтүүд(өгөгдсөн SiC S1111 туршилтын тайлан болон ердийн утгууд дээр үндэслэсэн)):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | SiC (99.72% SiC, 0.05% Чөлөөт Si) |
| Өнгө | Хар/Саарал |
| Нягтрал | 3.10–3.15 г/см³ |
| Ус шингээлт | 0% |
| Гулзайлтын хүч | 449 МПа (дундаж) |
| Хугарлын бат бөх чанар | 3.12 МПа·м¹/² (дундаж) |
| Уян хатан модуль | 457 GPa |
| Викерсийн хатуулаг | 25–28 ГПа |
| Дулаан дамжуулалт (25°C) | 120–150 Вт/м·К |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Хамгийн их хэрэглээний температур (ачаалалгүй) | 1600–1700°C |
Хэрэглээ:
● Өндөр температурт вафлитай харьцах (ариутгасны дараах, RTP, эпитакси)
● Элэгдэлд тэсвэртэй өндөр плазмын сийлбэрийн камерууд
● Өндөр хурдтай дамжуулагч роботууд (хөнгөн, өндөр хатуулагтай)
Үйлдвэрлэл:
SiC нунтаг хайлуулах → гарны профайл болон угсралтын онцлогийг нарийн CNC нунтаглах → гадаргуугийн өнгөлгөө → хэт авианы цэвэрлэгээ. Вакуум хэрэглээнд зориулсан 100% хэмжээст үзлэг болон гелийн нэвчилтийн туршилт.
Чанарын хяналт:
● Урт, өргөн, тэгш байдлын CMM шалгалт
● Багц бүрийн гулзайлтын бат бэхийн туршилт (туршилтын тайлангийн стандартын дагуу)
● Гадаргуугийн согогийг микроскопоор харах
Хөнгөн цагаан эсвэл металлаас давуу талууд:
● 2 дахин өндөр уян хатан модуль (хөнгөн цагааны хувьд 457 ба ~380 GPa) – хазайлт бага
● 3 дахин өндөр дулаан дамжуулалт – дулаан хурдан тархдаг
● Агаарт 800°C хөнгөнцагааны исэлтэй харьцуулахад >1600°C-д тэсвэртэй
● Гангаас бага нягтралтай – жинг 40% бууруулдаг
Тохируулга:
Урт нь 150–450 мм, үзүүрийн хэлбэр (ирмэгийн бариул, Бернулли, хавтгай), OEM зураг дээрх бэхэлгээний фланцын хээ.
*Дээрх бүх механик өгөгдөл нь нийлүүлсэн туршилтын тайлангаас (багц S1111) авсан болно. Дулааны болон хатуулгийн утга нь энэхүү SiC зэрэглэлийн хувьд ердийн зүйл юм; багцад хамаарах гэрчилгээ авахын тулд бидэнтэй холбогдоно уу.*
