Хагас дамжуулагч бэхэлгээний өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик цөм
St.Cera-ийн хөнгөн цагаан исэл керамик цөм нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оос нарийн боловсруулсан бөгөөд онцгой диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал, ачааллын дор мөлхөх эсэргүүцлийг санал болгодог. Эдгээр цөмийг өндөр температурт боловсруулах төхөөрөмж, халаагчийн суурь, плазмын камерын доторлогоо, цахилгаан тусгаарлагч зэрэгт бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсэг болгон ашигладаг. Материалын өндөр хатуулаг (16 ГПа) болон ус шингээлт багатай (0%) нь хатуу ширүүн орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг.
Үзүүлэлтүүд(99.8% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Хугарлын бат бөх чанар | 3–4 МПа·м¹/² |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Янгийн модуль | 380 ГПа |
| Дулаан дамжуулалт | 32 Вт/м·к |
| Дулааны тэлэлт (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрик хүч чадал | 15×10⁶ В/м |
| Тодорхой эсэргүүцэл | >10¹⁴ Ω·мм²/м |
| Хамгийн их ажиллах температур | 1600°C |
Хэрэглээ:
- · Эпитаксиал реакторын халаагчийн цөм
- · Плазмын камерын доторлогоо ба бүрхүүлийн хавтан
- · Өндөр хүчдэлийн цахилгаан тусгаарлагч
- · Вафлитай харьцах роботуудад зориулсан бэхэлгээний суурь
Үйлдвэрлэл:
Изостатик шахалт → ногоон боловсруулалт → 1600°C-д хайлуулах → CNC эцсийн хэмжээс хүртэл нунтаглах (±0.01 мм-ийн хүлцэл). Цөм бүрийг CMM болон хэт авианы согог илрүүлэгчээр шалгана.
Чанарын баталгаа:
ISO 9001:2015 гэрчилгээтэй. Гадаргуугийн хагарлын будагч бодисын нэвчилтийг шалгах; ASTM D149 стандартын дагуу диэлектрик бат бэхийн туршилт.
AБусад керамикаас давуу талууд:
- · Цирконоос илүү өндөр диэлектрик бат бэх (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Плазмын бус хэрэглээнд SiC-ээс хямд өртөгтэй
- · Галогенд (HF-ээс бусад) маш сайн химийн эсэргүүцэлтэй
Захиалгат хэлбэрүүд:
Цилиндр, дөрвөлжин баар, хавтан эсвэл нарийн төвөгтэй геометр. Хамгийн бага хэмжээ нь 0.5 мм.
Захиалгат цөмийн дизайн болон дулааны симуляцийн дэмжлэг авахыг хүсвэл бидэнтэй холбогдоно уу.








