-
Утас холбох болон хэвийг бэхлэхэд зориулсан нарийн керамик чиглүүлэгч хоолой
St.Cera-ийн керамик чиглүүлэгч хоолойг 99.5% хөнгөн цагааны исэл эсвэл иттри тогтворжуулсан цирконоор үйлдвэрлэдэг бөгөөд элэгдэлд тэсвэртэй, гөлгөр дотор нүхтэй (Ra ≤0.2 μm). Эдгээр хоолойнууд нь утас холбогч, хэв бэхэлгээний машин, сонгох болон байрлуулах тоног төхөөрөмжийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд холбогч утас, хялгасан судас эсвэл вакуум цоргыг үрэлт багатай, тоосонцрын бохирдолгүй чиглүүлдэг.
-
Хагас дамжуулагч бэхэлгээний өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик цөм
St.Cera-ийн хөнгөн цагаан исэл керамик цөм нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оос нарийн боловсруулсан бөгөөд онцгой диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал, ачааллын дор мөлхөх эсэргүүцлийг санал болгодог. Эдгээр цөмийг өндөр температурт боловсруулах төхөөрөмж, халаагчийн суурь, плазмын камерын доторлогоо, цахилгаан тусгаарлагч зэрэгт бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсэг болгон ашигладаг. Материалын өндөр хатуулаг (16 ГПа) болон ус шингээлт багатай (0%) нь хатуу ширүүн орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг.
-
Хөнгөн цагаан дээр суурилсан стандарт вакуум шаантаг – Нарийвчлалтай боловсруулах өндөр хатуулагтай
Энэхүү хөнгөн цагаан исэл дээр суурилсан вакуум патроныг 99.8% Al₂O₃-оор үйлдвэрлэдэг бөгөөд захиалгат вакуум ховилын хээтэй гөлгөр, сүвэрхэг бус гадаргууг санал болгодог. Энэ нь онцгой хатуулаг (Young-ийн модуль 380 GPa) болон тэгш байдлыг (≤3 μm) хангадаг тул хагас дамжуулагч вафер болон оптик эд ангиудыг нарийн нунтаглах, давхцуулах, жижиглэхэд тохиромжтой. Материалын өндөр дулаан дамжуулалт (32 Вт/м·к) нь боловсруулалтын явцад температурын жигд байдлыг хангадаг.
-
ST.CERA Хөнгөн цагааны керамик цагираг болон керамик дискэнд зориулсан
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
-
Нарийвчлалтай керамик хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж
Хүйтэн изостатик шахалтаар гаргаж, өндөр температурт шатааж, дараа нь нарийн боловсруулж, өнгөлсөн керамик сэлбэг хэрэгсэл нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэд тэсвэртэй, дулааны тэлэлт багатай, дулаалгатай зэрэг шинж чанаруудаараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг. Керамик нь өндөр температур, вакуум эсвэл идэмхий хийтэй нөхцөлд олон төрлийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид удаан хугацаанд ажиллах боломжтой.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны нунтагаар хийгдсэн бөгөөд хүйтэн изостатик шахалт, өндөр температурт хайлуулах болон нарийн өнгөлгөө хийх аргаар боловсруулсан тул хэмжээст хүлцэл ±0.001 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra 0.1, температурт тэсвэртэй байдал 1600℃ хүрч чадна.
