-
Вафлитай харьцах өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик робот гар
St.Cera-ийн хөнгөн цагааны исэл керамик роботын гар нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃ (хөнгөн цагааны исэл)-ээс нарийн инженерчлэлээр хийгдсэн. Энэ нь онцгой гулзайлтын бат бэх (361 МПа), өндөр хатуулаг (16 ГПа), бага нягтрал (3.93 г/см³)-ийг хослуулсан тул хагас дамжуулагч вафли дамжуулахад зориулсан хөнгөн хэрнээ хатуу гартай. Материалын дулааны тэлэлтийн коэффициент (7.2×10⁻⁶/°C) нь цахиуртай нягт таарч, боловсруулалтын явцад дулааны зөрүүг багасгадаг.
-
Бернулли керамик төгсгөлийн эффектор — Нимгэн ба хэврэг вафлинд зориулсан контактгүй вафли боловсруулах
St.Cera-ийн Бернулли керамик төгсгөлийн эффектор нь физик хүрэлцэхгүйгээр вафлитай харьцахдаа аэродинамик өргөлтийг ашигладаг. Өндөр цэвэршилттэй 99.8% хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) эсвэл цахиурын карбид (SiC)-ээр үйлдвэрлэсэн бөгөөд энэ нь төгсгөлийн эффектор болон вафли хооронд нимгэн агаарын хальс үүсгэхийн тулд даралттай хий ялгаруулдаг нарийн боловсруулсан цорготой. Энэхүү хүрэлцэхгүй зарчим нь ар талын бохирдол, ирмэгийн хагарал, гадаргуугийн гэмтлийг арилгадаг тул нимгэн (≤100 μм), хэврэг эсвэл муруй вафлитай харьцуулахад тохиромжтой. Керамик суурь нь өндөр гулзайлтын бат бэх (Al₂O₃-ийн хувьд 361 МПа; SiC-ийн хувьд 550–600 МПа хүртэл), бага масстай, маш сайн хэмжээст тогтвортой байдлыг хангаж, өндөр хурдтай вафли дамжуулах роботуудад давтагдах боломжтой байрлалыг баталгаажуулдаг.
-
Тефлон бүрсэн керамик төгсгөлийн эффектор – Мэдрэмтгий вафлитай харьцах зориулалттай наалддаггүй гадаргуу
St.Cera-ийн Teflon (PTFE) бүрсэн керамик төгсгөлийн эффектор нь өндөр бат бэх хөнгөнцагааны ислийн суурь ба жигд, бага үрэлттэй PTFE бүрээс (зузаан нь 15–30 μм)-ийг хослуулсан. Бүрхүүл нь маш бага үрэлтийн коэффициент (≤0.1), маш сайн химийн эсэргүүцэл, наалддаггүй шинж чанарыг хангаж, вафлийн наалдацаас сэргийлж, ар талын бохирдлыг арилгадаг. Доорх керамик суурь (99.8% Al₂O₃) нь өндөр гулзайлтын бат бэх (361–1000 МПа), элэгдэлд тэсвэртэй, 260°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг (бүрхүүлийн хязгаар). Энэхүү төгсгөлийн эффектор нь эмзэг, нимгэн эсвэл наалдамхай вафлитай харьцахад тохиромжтой (жишээлбэл, фоторезист бүрэх эсвэл химийн процессын дараа).
