Вафлитай харьцах өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик робот гар
St.Cera-ийн хөнгөн цагааны исэл керамик роботын гар нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃ (хөнгөн цагааны исэл)-ээс нарийн инженерчлэлээр хийгдсэн. Энэ нь онцгой гулзайлтын бат бэх (361 МПа), өндөр хатуулаг (16 ГПа), бага нягтрал (3.93 г/см³)-ийг хослуулсан тул хагас дамжуулагч вафли дамжуулахад зориулсан хөнгөн хэрнээ хатуу гартай. Материалын дулааны тэлэлтийн коэффициент (7.2×10⁻⁶/°C) нь цахиуртай нягт таарч, боловсруулалтын явцад дулааны зөрүүг багасгадаг.
Үзүүлэлтүүд (99.8% Al₂O₃ дээр үндэслэсэн):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Өнгө | Зааны ясан өнгөтэй |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Янгийн модуль | 380 ГПа |
| Дулаан дамжуулалт | 32 Вт/м·к |
| Дулааны тэлэлт | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрик хүч чадал | 15×10⁶ В/м |
Хэрэглээ:
- Вакуум вафер дамжуулах роботууд (200мм/300мм)
- Агаар мандлын харьцах системүүд
- FAB автоматжуулалтын төгсгөлийн эффекторын гар
Үйлдвэрлэлийн үйл явц:
Изостатик шахалт → ногоон боловсруулалт → 1600°C температурт шатаах → CNC нарийвчлалтай нунтаглах → хэт авианы цэвэрлэгээ → 100-р ангиллын цэвэр өрөөний сав баглаа боодол. Гар бүрийг CMM-ээр 100% тэгш байдал (±0.01 мм) болон гадаргуугийн барзгаржилт (Ra ≤0.4 μm)-ээр шалгана.
Чанарын хяналт:
St.Cera нь ISO 9001:2015 гэрчилгээтэй. Бид бичил хагарлын будгийн нэвчилт туршилт, гулзайлтын бат бэхийн гурван цэгийн нугаралт, ASTM D149 стандартын дагуу диэлектрик бат бэхийн туршилт хийдэг.
Металл гартай харьцуулахад давуу талууд:
- Зэвэрдэггүй гангаас 50% хөнгөн
- Цайвар зэврэлтгүй
- Бага бөөмс үүсэх (≤0.05 бөөмс/см²)
- ESD-ээс хамгаалагдсан бүрхүүл боломжтой (10⁶–10⁹ Ω/кв)
Тохируулга:
OEM зураг дээрх 150мм-ээс 450мм хүртэл урт, үзүүрийн хэлбэр (ирмэгийн бариул, Бернулли, вакуум) болон бэхэлгээний фланцын хээ. 2 долоо хоногийн дотор туршилтын загварууд.
Бөөнөөр захиалах бол үнийн санал хүснэ үү.
