Уламжлалт Al2O3 ба BeO субстратын материалын гүйцэтгэлийн иж бүрэн давуу талуудтай хослуулан өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр бүхий Хөнгөн цагаан нитрид(AlN) керамик (монокристалын онолын дулаан дамжилтын илтгэлцүүр 275Вт/м▪к， поликристалын онолын дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь 270m20mW) юм. ), бага диэлектрик тогтмол, дан болор цахиуртай зохицсон дулааны тэлэлтийн коэффициент, сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанар нь микроэлектроникийн үйлдвэрлэлийн хэлхээний субстрат болон савлагаанд тохиромжтой материал юм.Энэ нь өндөр температурт сайн механик шинж чанар, дулааны шинж чанар, химийн тогтвортой байдлын улмаас өндөр температурт бүтцийн керамик эд ангиудын чухал материал юм.
AlN-ийн онолын нягт нь 3.26г/см3, MOHS хатуулаг нь 7-8, өрөөний температурын эсэргүүцэл 1016Ωm-ээс их, дулааны тэлэлт 3.5×10-6/℃ (өрөөний температур 200℃) байна.Цэвэр AlN керамик нь өнгөгүй, тунгалаг боловч хольцын улмаас саарал, саарал цагаан, цайвар шар зэрэг янз бүрийн өнгөтэй байдаг.
Өндөр дулаан дамжуулалтаас гадна AlN керамик нь дараахь давуу талуудтай.
1. Сайн цахилгаан тусгаарлагч;
2. Цахиурын монокристалтай ижил төстэй дулааны тэлэлтийн коэффициент, Al2O3, BeO зэрэг материалаас давуу;
3. Al2O3 керамиктай төстэй өндөр механик бат бэх, гулзайлтын бат бэх;
4. Дунд зэргийн диэлектрик тогтмол ба диэлектрик алдагдал;
5. BeO-тэй харьцуулахад AlN керамикийн дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь температур, ялангуяа 200℃-аас дээш температурт бага нөлөөлдөг;
6. Өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй;
7. Хоргүй;
8. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр, химийн металлургийн үйлдвэр болон бусад үйлдвэрлэлийн салбарт хэрэглэгдэх.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 7-р сарын 14