Хагас дамжуулагч болон үйлдвэрлэлийн хэрэгсэлд зориулсан том хэмжээтэй хөнгөн цагаан керамик хавтан
St.Cera нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-ээс том хэмжээтэй керамик хавтанг үйлдвэрлэдэг бөгөөд урт нь 1500 мм, өргөн нь 600 мм хүртэлх хамгийн дээд хэмжээстэй. Бидний нарийн нунтаглах чадвар нь 100 мм-ийн хувьд 0.003 мм тэгш, параллелизм нь 0.002 мм бөгөөд том талбайд гадаргуугийн чанарыг тогтвортой байлгадаг. Зузаан нь 100 мм хүртэл, гадаргуугийн өнгөлгөө нь Ra0.1 хүртэл байна. Эдгээр хавтангууд нь хагас дамжуулагч, дэлгэц, фотоволтайк үйлдвэрлэлд вакуум патроны суурь, халаагчийн хавтан, цахилгаан тусгаарлагч хавтан, процессын камерын шал болгон ашигладаг. Нүх, эсрэг нүх, ирмэгийн профиль хийх боломжтой.
Техникийн үзүүлэлтүүд (99.8% Al дээр үндэслэсэн)₂O₃& St.Cera үйлдвэрлэлийн хүчин чадал):
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Үнэ цэнэ |
| Материал | 99.8% хөнгөнцагаан исэл (Зааны ясан) |
| Нягтрал | 3.93 г/см³ |
| Гулзайлтын хүч | 361 МПа |
| Викерсийн хатуулаг | 16 ГПа |
| Диэлектрик хүч чадал | 15×10⁶ В/м |
| Хамгийн их урт | 1500мм |
| Хамгийн их өргөн | 600 мм |
| Хамгийн их зузаан | 100мм |
| Хавтгай байдал (100 мм тутамд) | 0.003 мм |
| Параллелизм | 0.002 мм |
| Гадаргуугийн өнгөлгөө | Ra0.1 (өнгөлсөн/давхарласан) |
| Хамгийн их ажиллах температур | 1600°C |
Хэрэглээ:
- · Том хэмжээтэй вафер болон хавтангуудад зориулсан вакуум патрон суурь хавтан
- · Дулааны боловсруулалтын тоног төхөөрөмжийн халаагчийн хавтан
- · Өндөр хүчдэлийн систем дэх цахилгаан тусгаарлагч хавтангууд
- · Боловсруулах камерын шал болон доторлогооны хавтангууд
Үйлдвэрлэлийн нарийвчлал:
Шулуун байдал: 0.005 мм, перпендикуляр байдал: 0.005 мм, лазер интерферометрээр баталгаажсан.
Металл хавтангаас давуу талууд:
- · Металл бохирдолгүй - хагас дамжуулагч процесст чухал ач холбогдолтой
- · Хий ялгаруулдаггүй – вакуум орчинд тохиромжтой
- · Элэгдэлд тэсвэртэй байдал болон химийн бодисоос илүү сайн хамгаалагдсан
Тохируулга:
Захиалгат нүхний хээ, ирмэгийн профайл, шаталсан гадаргуу, металлжуулсан бэхэлгээний хэсгүүд боломжтой.
